超快激光光束整形原理与方法及其在功能性微结构制造中的应用

• 作者: 丁铠文 王聪 罗志 梁会勇 段吉安
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 激光光学 超快激光 光束整形 功能性微结构 高效制造
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 课题二 超快激光时空频调控微纳制造机理及方法|Task 2 Methodology and Mechanism of Time/Space/Frequency Domain Shaped Ultra-fast Laser Micro-nano Fabrication
• 页码范围: 53-66
• 页数: 14页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0202005

摘要

随着功能性微结构的制造品质要求不断推向新的极端,超快激光微纳制造迎来了新的挑战,如更高的加工效率、跨尺度加工、选择性加工及可控性加工等.因传统超快激光高斯光束的空间和时间能量分布在加工中的局限性,以单点聚焦扫描为主的加工方法难以满足新的制造精度、效率和跨尺度加工要求.基于此,研究者将目光聚焦到超快激光光束整形的制造方法上.本文从传统超快激光光束的特点及其加工局限性角度出发,分空域光束整形、时域光束整形和时空域协同光束整形,介绍了超快激光光束整形技术的基本原理和主要实现途径;阐述了这些技术在功能性微结构制造方面的典型应用和研究进展;最后,总结和讨论了超快激光光束整形技术应用于功能性微结构制造中存在的问题和发展前景.