微流控通道加工技术的研究进展

• 作者: 陈梦月 郝秀清 李子一 徐文豪 李亮
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 关键词: 微流控芯片 微分析 微流控通道 微纳制造 微加工技术
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备|Processing, Measurement and Equipment
• 页码范围: 244-253
• 页数: 10页
• 分类号: O35
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2021.03.010

摘要

在微流控芯片中,微通道是进行微分析的重要保证,其成型质量直接影响芯片的分析性能.从加工机理、技术特点以及适用范围等方面对激光直写加工、光刻加工、热压印技术、微细铣削加工和3D打印等微流控通道主要加工方法进行了阐述,并总结了这几种加工技术的优缺点,这为实际生产提供了一定参考.最后,对微流控通道加工技术的发展进行了展望,未来微流控芯片将会向三维化、精密化以及微小化方向发展,芯片材料也趋于多样化,这些发展将不断推动微流控通道加工技术的发展.