空间整形飞秒激光图案化加工氧化石墨烯

• 作者: 郭恒 闫剑锋 李欣 曲良体
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 激光技术 飞秒激光 空间光整形 氧化石墨烯 图案化加工
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 课题四 微纳功能结构与新能源器件的超快激光制造|Task 4 Ultrafast Laser Manufacturing of Micronano Functional Structures and Novel Energy Devices
• 页码范围: 292-300
• 页数: 9页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0202018

摘要

氧化石墨烯(GO)是结构中含有部分含氧官能团的石墨烯衍生物,通过加热、化学反应和激光诱导等方法,该材料可以被还原.激光辐照可以诱导一定区域内的GO发生还原反应,具有灵活、区域选择性良好、无需特殊环境等优点.提出了一种基于空间整形的飞秒激光图案化加工GO的方法,即空间整形激光辐照法,分别采用空间整形激光辐照法和激光逐点扫描法在GO上加工图案,并对加工结果进行表征和对比,分析了辐照时间、激光通量等参数对加工结果的影响.结果表明空间整形激光辐照法可以图案化加工GO并使加工区域的GO被还原,从而提高图案化加工效率,且该方法具有良好的可重复性和图案灵活性,在制备GO基底的微电路、微器件方面具有应用潜力.