微纳力值测量技术发展现状与分析

• 作者: 钟山 高炳涛 岑格 王小三 任大呈
• 来源期刊: 宇航计测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳力值 测量技术 测量不确定度
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 计量技术综述
• 页码范围: 68-75
• 页数: 8页
• 分类号: TB931
• 语种: 中文
• DOI: 10.12060/j.issn.1000-7202.2021.06.13

摘要

介绍了近年来微纳力值测试技术的发展现状.微纳力值测量方法、测量及研究成果,并进行了不同测试方法的对比,指出了不同测试方法的特点和适用性.基于当前微纳测量领域发展趋势,结合行业发展需求,提出了微纳力值测试技术研究应注意的问题.