透明介质材料的超快激光微纳加工研究进展

• 作者: 李佳群 闫剑锋 李欣 曲良体
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 激光技术 超快激光 透明介质材料 微纳加工 折射率变化 纳米光栅 纳米孔洞
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 课题四 微纳功能结构与新能源器件的超快激光制造|Task 4 Ultrafast Laser Manufacturing of Micronano Functional Structures and Novel Energy Devices
• 页码范围: 301-315
• 页数: 15页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0202019

摘要

透明介质材料具有高透光性、高耐热性和良好的耐腐蚀性,被广泛应用于航空航天、微电子器件和光学元件等领域,这些应用对透明介质材料微纳加工的精度与质量提出了一定的要求.超快激光具有超高的峰值强度与超短的脉冲持续时间,可突破衍射极限并极小化热影响区,具有出色的加工精度与加工质量,为透明介质材料的微纳尺度加工提供了多样化的手段.综述了透明介质材料的超快激光微纳加工研究进展,包括超快激光加工透明介质材料的内部结构、相关机理和应用领域三个方面,并对透明介质材料的超快激光微纳加工进行了总结与展望.