栅式电容位移传感阵列信号正交性偏差的智能补偿方法

• 作者: 余建平 卢科青 李欣
• 来源期刊: 传感技术学报
• 关键词: 电容位移传感器 正交性偏差 偏航角 互相关补偿
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器信号处理|Signal Processing for Sensors
• 页码范围: 657-662
• 页数: 6页
• 分类号: TH711
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2021.05.015

摘要

本文提出一种栅式电容位移传感阵列信号正交性偏差的补偿方法和实现方式.分析传感阵列X-Y方向线性位移信号正交性偏差产生的原因,建立偏航角影响下的信号正交性偏差模型,利用互相关检测原理,构造了栅式电容位移传感阵列信号正交性偏差补偿新方法.实验结果表明,传感阵列正交性偏差跟随偏航角位移θ从为0.2°变化为0.4°,0.8°和2.0°时有显著增大,采用互相关补偿法后保证了X-Y线性位移信号的非线性度维持在0.32％,0.29％,0.24％和0.07％之间,对比直接求解法有大幅的降低,基本消除了正交性偏差对X-Y方向线性位移测量的影响,测量稳定性得到显著改善.