基于纳米操作的纳米线钎焊结构组装及互连

• 作者: 管延超 王根旺 王扬 丁烨 杨立军
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 集成光学 钎焊 纳米操作 纳米线互连 组装 电子束辐照
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 课题三 三维跨尺度纳米操作和激光可控纳米连接的工艺技术与装备及应用|Task 3 Processing Technology , Equipment and Applications of Three-Dimensional Trans-Scale Nano Manipulation and Controllable
• 页码范围: 281-289
• 页数: 9页
• 分类号: TN303|TN492
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0802024

摘要

近年来,纳米线在纳米电子学、纳米光子学、纳米医学和纳米机电系统等领域的应用逐渐广泛,纳米线的连接已经成为未来器件小型化和集成化的关键问题.为了实现良好的纳米线互连,提出了一种基于扫描电子显微镜(SEM)的纳米线-纳米钎料原位互连结构组装、钎焊互连的方法.利用开发的SEM纳米操作平台,实现了直径为100 nm左右的ZnO纳米线与直径为180～300 nm的Ag纳米钎料的同基底互连结构组装.利用SEM聚焦电子束辐照熔融纳米钎料实现了纳米线钎焊互连,利用双探针纳米操作系统对焊接后的纳米线进行电流-电压(Ⅰ-Ⅴ)测试,钎焊后的纳米互连结构成功实现电流导通.