EFPI式光纤声压传感器中敏感薄膜设计与分析

• 作者: 解涛 杨志 王文军 吴宇 刘涛
• 来源期刊: 现代信息科技
• 关键词: 微光电子机械系统 F-P干涉 光纤传感 声压传感器 增敏结构
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 电子工程|Electronic Engineering
• 页码范围: 35-37
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.19850/j.cnki.2096-4706.2021.02.009

摘要

针对非本征F-P干涉仪式光纤声压传感器中的声压敏感薄膜性能提升,设计并制备了不同厚度和不同增敏环数的声压敏感薄膜结构.对不同声压敏感薄膜感知声压的性能进行测试.结果表明:声压敏感薄膜的厚度越薄,其声压灵敏度越大,对比400 nm厚度和1000 nm厚度的声压敏感薄膜,发现在相同声压的声波作用下,前者的输出电压比后者大一个数量级.此外,增加增敏环数可以有效地释放应力,降低薄膜的刚性,使得声压传感器的性能有所提升.