气体动态稀释装置的可靠性评价

• 作者: 吴雨彤 毕哲 杨扬仲夫 马浩淼 吴海
• 来源期刊: 计量学报
• 关键词: 计量学 气体稀释装置 标准气体 稀释比 不确定度
• 年，卷（期）: 2021,（7）
• 页码范围: 956-963
• 页数: 8页
• 分类号: TB99
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2021.07.19

摘要

基于质量流量控制器(MFC)搭建了一套稀释装置,并通过高精度甲烷光谱仪验证了该装置的可靠性.试验结果表明,稀释比为0.01～0.02时,理论稀释浓度的相对误差不超过±4％;稀释比为0.04～0.1时,理论稀释浓度的相对误差在±0.5％以内.因此,稀释比很小时稀释装置的准确性欠佳.MFC上游输入气体压力变化对其输出气体流量存在影响,当输入压力在0.2～0.6 MPa范围内变化时,MFC输出气体流量变化极差不超过1％,由此导致稀释装置输出的标准气体浓度的变化不超过1％.使用稀释装置制备标准气体时,优先设定MFC在满量程10％以上的范围内工作,以保证稀释装置的可靠性.