红外宽波段亚波长金属线栅偏振元件的研制

• 作者: 付秀华 林晓敏 张功 王野 张静
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 薄膜 减反射膜 金属Al 间歇镀膜 亚波长 高偏振性能
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 材料与薄膜|Materials and Thin Films
• 页码范围: 62-69
• 页数: 8页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0903002

摘要

基于亚波长结构对光场的调控作用,研制了单层金属线栅偏振元件.利用等效介质和严格耦合波分析(RCWA)理论确定了结构参数,使用有限时域差分(FDTD)法优化设计了 Si基底Al金属线栅结构,并通过多层减反射膜与金属线栅结构的匹配,降低了基底剩余反射率,提高了横磁(TM)波透过率.采用间歇镀Al法减少了辐射温度导致的胶栅形变,制备了具有高偏振性能的亚波长元件.经测试,所制备的线栅偏振元件在中波红外3～5 um波段的TM波透过率为89.1％,消光比为21.9 dB.