KDP晶体元件晶轴角度的精密校正

• 作者: 张帅 金波佳 王翔峰 雷向阳 王健 许乔
• 来源期刊: 中国激光
• 关键词: 光学器件 KDP晶体元件 晶轴角度 金刚石切削 在位检测 相位匹配
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 激光器件与激光物理|Laser Devices and Laser Physics
• 页码范围: 45-52
• 页数: 8页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL202148.0901006

摘要

大型激光装置要求KDP(Potassium Dihydrogen Phosphate,KH2PO4)晶体在加工阶段进行高精度定轴,以降低后续装调难度,提升批量装调效率.为此在加工阶段,提出一种在位检测反馈和多次调节逼近的晶轴角度校正策略,从原理上避免了校正精度严重依赖调节工装精度、重复装夹误差大、机床直线度引入误差等问题;并且为提升晶轴角度的校正效率,研制了电动控制的高精度吸盘角度调节工装,解决了校正角度大、精度要求高的难题.验证结果表明:采用研制的高精度吸盘角度调节工装,经过3轮次的迭代,可以将晶轴角度误差从2～4 mrad快速收敛至20 μrad以内,满足大型激光装置的要求.所提策略的校正精度仅取决于测头移动长度和测试精度,且元件口径越大、测量精度越高,校正精度就越高,因此所提策略特别适用于大口径KDP晶体元件的晶轴角度的精密校正.