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静电吸附设备的高分子介电层研究
静电吸附设备的高分子介电层研究
作者:
李有亮
周亮
奉洛阳
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
摘要:
本文采用溶液共混法,制备了一种静电吸附设备的高分子介电层,研究了在高分子环氧树脂中掺杂不同质量比的陶瓷粉(Al2O3)纳米微粒(10~30 nm)对介电层吸附力的影响.实验结果显示:高分子介电层的体电阻与陶瓷纳米颗粒在环氧中的掺杂比成反比关系,并且当掺杂比为30%时,所制作得到的高分子介电层静电吸附力满足吸附要求.实验结果解决了静电吸附设备中采用高分子作为介电层的组分配比,为国内静电吸附设备的研发提供了实验数据和理论研究.
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文献信息
篇名
静电吸附设备的高分子介电层研究
来源期刊
电子世界
学科
关键词
年,卷(期)
2021,(3)
所属期刊栏目
探索与观察
研究方向
页码范围
19-20
页数
2页
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中文
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期刊影响力
电子世界
主办单位:
中国电子学会
出版周期:
半月刊
ISSN:
1003-0522
CN:
11-2086/TN
开本:
大16开
出版地:
北京市
邮发代号:
2-892
创刊时间:
1979
语种:
chi
出版文献量(篇)
36164
总下载数(次)
96
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