微半球谐振陀螺仪的模态主轴方位角测算方法

• 作者: 吕骞 丁徐锴 陈鹤 贾佳 李宏生
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 微半球 微机电系统(MEMS)振动陀螺仪 主轴方位角 频率误差 误差模型
• 年，卷（期）: 2021,（9）
• 所属期刊栏目: 计算与测试|Calculation & Test
• 页码范围: 117-120
• 页数: 4页
• 分类号: V241.5|TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)09-0117-04

摘要

由于微半球谐振子吹制过程存在严重加工误差,将导致谐振子结构误差,进而导致微半球谐振子工作模态发生频率裂解和模态主轴轴向偏转,影响了陀螺仪的性能.而模态主轴方位角反映了谐振子的结构误差所在角度,可指导微谐振子结构误差研究和机械修调.本文从理想谐振子通用运动方程出发,推导了微半球谐振子误差模型,据此提出了一种可以通过电扫频所得数据计算微半球谐振子频率主轴方位角的方法.选择了两个Q值为1930和13390的微半球谐振子进行实验,得到二者的模态主轴方位角分别为30.36°和34.75°.最后通过仿真确定所提方法测得的模态主轴方位角有效.