基于喷涂和等离子体处理的柔性应变传感器

• 作者: 李荣军 于源 谭晶 王瑞雪 焦志伟 杨卫民
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 关键词: 喷涂 柔性应变传感器 等离子体
• 年，卷（期）: 2021,（8）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 76-78
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2021)08-0076-03

摘要

为提高柔性传感器传感层图案的可设计性和操作可重复性,并使传感器的灵敏度得到提高,采用二维平面可控喷涂和低温等离子体处理技术,制备了以多壁碳纳米管为传感层、以Ecoflex 0050为基层的柔性可拉伸电阻应变传感器.研究了低温等离子体处理对传感器电阻值、稳定性以及灵敏度因数的影响.结果 表明:采用可控喷涂的方法制备的传感层对拉伸应变具有很好的响应;在低温等离子体处理之后,传感层的初始电阻增大为原来的15倍;在应变为10％的2500次往复拉伸过程中,采用等离子体处理制备的柔性电阻应变传感器电阻变化保持平稳,且灵敏度因数从3.9升至11.5.等离子体处理后传感器灵敏度得到提高.