比较法真空标准装置建标分析研究

• 作者: 房文涵
• 来源期刊: 中国设备工程
• 学科: 工学
• 关键词: 真空计量 动态比对法 静态比对法 不确定度评定
• 年，卷（期）: 2021,（20）
• 所属期刊栏目: 工艺流程与应用
• 页码范围: 103-105
• 页数: 3页
• 分类号: TB7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-0711.2021.20.061

摘要

电容薄膜真空计和电离真空计广泛应用于本单位科研实验和设备制造生产中.针对这两种真空计,核工业理化工程研究院作为国防科技工业真空三级技术机构,根据JJF(军工)5-2014《国防军工计量标准器具考核规范》要求,通过对计量标准装置的不确定度评定及进行不确定度的验证考核,建立符合量值传递的真空标准器组,能够测量(5×10-4～1×105)Pa范围内的压力,满足对真空计量值准确传递的需求,为本单位真空应用提供了计量服务和技术保障.