电子化学品技术发展分析

• 作者: 于宸 顾方 鲁瑛 肖甲宏 白杨 朱文瀚
• 来源期刊: 精细与专用化学品
• 学科: 工学
• 关键词: 电子化学品 含氟电子气体 湿电子化学品 光刻胶 科技发展
• 年，卷（期）: 2022,（1）
• 所属期刊栏目: 特别关注
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TQ421
• 语种: 中文
• DOI: 10.19482/j.cn11-3237.2022.01.03

摘要

通过分析全球电子化学品(含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶)生产技术相关专利的申请态势,研究电子化学品生产技术的发展全貌,并分别对含氟电子气体、湿电子化学品和光刻胶技术的成熟度进行分析.重点分析了全球电子化学品领先企业的技术布局,并提出了我国今后的发展建议.