面向CMUT阵元的阻抗匹配设计与声场特性测试

• 作者: 李一凡 张赛 何常德 王子渊 高鹏飞 张国军
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式微机械超声换能器 阻抗匹配 Smith圆图 声场特性
• 年，卷（期）: 2022,（4）
• 所属期刊栏目: 设计与制造|Design & Manufacture
• 页码范围: 89-92
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|TB552
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2022)04-0089-04

摘要

为解决电容式微机械超声换能器(CMUT)声发射能力弱、输出声压低的问题,根据CMUT工作原理与阻抗匹配理论设计了匹配电路.在此基础上,测试阻抗匹配前后CMUT的轴向声场与辐射声场指向性.测试结果表明:在相同测试距离或偏转角度时,阻抗匹配后的CMUT输出声压明显提升,且不会影响CMUT的声场特性.通过实验验证与对比分析,该阻抗匹配电路有效改变CMUT的阻抗特性,提升声发射能力,为CMUT的实际应用提供解决方案.