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微电子制造学报2019年第4期出版文献

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微电子制造学报

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Journal of Microelectronic Manufacturing (JoMM）是由中国科学院微电子研究所、国科大微电子学院联合创办的国际全英文学术期刊，旨在发表集成电路制造领域中从基础研究阶段到工业大规模量产阶段的研究成果，内容包括但不限于Design、Process、Metrology & Yield Control、Packaging、Materials、Equipmen... 更多

主办单位：

中国科学院微电子研究所

ISSN：

2578-3769

CN：

出版周期：

季刊

邮编：

100029

地址：

北京市北土城西路3号中科院微电子研究所

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刊名：微电子制造学报

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刊名：微电子制造学报

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刊名：微电子制造学报

发表期刊： 2019年4期

页码: 45-55

摘要： With the introduction of EUV lithography,the photolithographic process in 5 nm logic process ca...
9. Current Status of the Integrated Circuit Industry in China--Packaging and Testing Industry Review

作者：

刊名：微电子制造学报

发表期刊： 2019年4期

页码: 56-62

摘要： Editorial Introduction:China's IC industry has been flourishing in recent years,huge market dem...

微电子制造学报基本信息

刊名	微电子制造学报	主编	叶天春
曾用名
主办单位	中国科学院微电子研究所	主管单位	中国科学院
出版周期	季刊	语种
ISSN	2578-3769	CN
邮编	100029	电子邮箱	jomm@jommpublish.org
电话	010-829957	网址
地址	北京市北土城西路3号中科院微电子研究所