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四川真空
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四川省真空学会
国投南光有限公司
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1. 旋片泵与滑阀泵的新结构刊名： 四川真空发表期刊： 1996年1期页码:摘要：
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2. 钛膜吸氢与释氢特性的研究刊名： 四川真空发表期刊： 1996年1期页码:摘要： 在ＳＫＬ－１２型多功能谱仪的预处理室中，采用超高真空镀膜的方法，得到了表面清洁的钛膜。对表面清洁及表面一定量氧污染的钛膜进行了吸氢，释氢实验，并用理论模型拟合实验数据。结果表明：表面氧污染使...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年1期页码:摘要： 借助ＱＭＳ诊断技术，完成了ＨＬ－１Ｍ装置Ｂ／Ｃ壁和Ｓ壁的出气特的对比实验研究。Ｂ／Ｃ壁的最大出气率是２．６０×１０＾２０ｍｏｌ／ｓ其中Ｈ２占９９．６％杂质组分３．８×１０＾－３。与ＳＳ壁相比...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年1期页码:摘要： 文章就热壁ＬＰＣＶＤ设备使用过程中出现的几个问题作了较全面的分析，提出了一些解决办法，并就热壁ＬＰＣＶＤ备设出现的故障及设备的维护谈了自己的一点体会。
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5. 真空涂料的研制与应用刊名： 四川真空发表期刊： 1996年1期页码:摘要：
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年1期页码:摘要： 本文分析了目前机械加工生产现状，阐述了机夹可转位刀具的优点和超硬刀具材料在机加工中的运用。提出了提高机械加工效率的有效措施是广泛采用机夹可转位刀具和新型材料刀具。
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年1期页码:摘要： 本文通过理论计算与实验结果对比，说明了理论计算可以指导粘接接头的设计。讨论了超长轴类零件的粘接接长方法。
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8. 涡轮分子泵的压缩比和泄漏刊名： 四川真空发表期刊： 1996年1期页码:摘要： 涡轮分子泵中存在着通过分子泵各级的泄漏现象，影响了分子泵实际的压缩比。如果在计算压缩比时不考虑这个影响，那么实际测得的压缩比大多远小于计算所得。对于从高压强级到低压强级的泄漏所产生的影响，本...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年2期页码:摘要： 用无毒，不燃固体材料碳硼烷与氦直流辉光放电在ＨＬ－１Ｍ内壁上原位涂复了含碳硼膜，平均厚度５０－７０ｎｍ，碳硼比约为１：６。硼化后器壁条件有了本质的改善。尽管省去了每天长达１５小时的放电清洗，...
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10. 表面氧污染影响钛膜吸氢量的机理刊名： 四川真空发表期刊： 1996年2期页码:摘要： 表面氧污染的钛膜，其吸氢能力比清洁钛膜降低达数倍之多。在厚度ｄ＝４００Ａ，表面氧污染的钛膜上重新蒸镀，使其表面再生一层极薄的清洁钛膜。吸氢，释氢测量表明其吸氢能力得到恢复。
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11. 石墨及其涂层材料性能的研究刊名： 四川真空发表期刊： 1996年2期页码:摘要： 本文在改制后的ＬＡＳ－２０００表面分析设备上对ＳＭＦ８００，Ｇ３石墨和（ＳｉＣ＋Ｃ）／Ｃ涂层石墨的真空出气性能和Ｄ＾＋束辐照化学增强腐蚀性能进行了分析研究。研究表明：ＨＬ－１Ｍ装置第一壁选择...
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12. 混合式硒化铅线阵红外CCD的研制刊名： 四川真空发表期刊： 1996年2期页码:摘要： 文章叙述了混合式硒化铅线阵红外电荷耦合器件的工作原理，结构及主要用途。
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13. 卷绕镀膜机冷冻加热系统的设计计算刊名： 四川真空发表期刊： 1996年2期页码:摘要： 本文介绍了一种专为卷绕镀机而研制的冻加热系统。它是在于制冷技术的基本原理，从镀膜主辊的冷负荷计算出发，论述了该系统有关的设计计算方法，从而提高了该系统设计的可靠性，准确性及经济性，增强了设计...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年2期页码:摘要：
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15. 2XZ—4C直联泵电路分析刊名： 四川真空发表期刊： 1996年2期页码:摘要：
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16. Slovay制冷机低温泵刊名： 四川真空发表期刊： 1996年3期页码:摘要： 介绍我们自己研制的Ｓｏｌｖａｙ制冷机低温泵的压缩净化机且，改进型Ｓｏｌｖａｙ两级膨胀机以及低温泵体的设计及特点，目前已完成低温泵的中试生产，开始批量投产。
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17. 含Fe聚合物混合薄膜的制备刊名： 四川真空发表期刊： 1996年3期页码:摘要： 采用等离子体增强金属有机化合物化学气相沉积技术（ＰＥＭＯＣＶＤ）制备含Ｆｅ聚合物混合薄膜，系统考查了偏压，源物加工热电压，沉积位置对膜沉积的影响，对膜的组成和结构进行了研究。
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年3期页码:摘要： 介绍了低温下真空多层绝缘热材料导热系数的测试，在相同的条件下对各种材料作了对比试验，结果表明，由２３３材料组成的绝热全基热性能优于其它材料，因此如何改善和提高多层绝热材料的性能，是摆在我们面...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年3期页码:摘要： 本文简述２ＹＫ－１１０型液式真空泵电动机的无刷变阻起动器的设计，起动性能，及其取代滑环，碳刷，频敏变阻器，二次回路后的优点，以及我们研制和生产的无刷变阻起动器应用在２ＹＫ－１１０液环式真空原...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年3期页码:摘要： ＨＬ－１Ｍ装置放电初期，硅收集探针暴露于等离子体边缘，利用表面分析分析研究等离子体刮离层中的主要杂质组分为Ｃ，Ｆｅ，Ｃｒ，Ｎｉ和Ａｌ同时给出刮离层中的杂质流通及其分布。
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年3期页码:摘要：
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22. 配用简易无油粗抽泵的致冷机低温泵刊名： 四川真空发表期刊： 1996年3期页码:摘要：
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年3期页码:摘要： 本文记述了抽速为５－２０米＾３／秒（对Ｈｅ）的高可靠性涡轮分子泵及其参数，经系列泵根据双流层原理制成，其极限压强大的约为５×１０＾－８Ｐａ；压缩比为（０．６－２．１）×１０＾４（对Ｈ２）和（...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年3期页码:摘要： 目前已开发出一种干式抽气系统，它与今天已面市的前级真空泵（爪形转子）罗茨转子原理）不同，具有许多明显的优点，这种抽气系统的两个转子是通过一齿轮对作相对旋转，转子几何开关特点是，其中一各转子只...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年3期页码:摘要： 本文向从事化学生产工艺技术的工程师们和化学设备中使用真空技术的用户介绍一种新的，专门为化学应用而开发的，无内压缩的干封真空泵，而且举一个具体的例子说明，使用这种新的真空泵不仅在经济方面而且在...
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刊名： 四川真空发表期刊： 1996年3期页码:摘要：
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27. 低压磁控溅射和自溅射放电刊名： 四川真空发表期刊： 1996年3期页码:摘要： 试验中，测量了直径为１００－１６０ｍｍ的３种磁控管在０．１帕以下压强下的工作情况，在低，中等放电功率密度≤１０ｗ／ｃｍ＾２，氩气压强降到１．１～２×１０＾－２帕的范围时仍能达到稳定的放电。在...
四川真空基本信息
| 刊名 | 四川真空 | 主编 | |
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| 主办单位 | 四川省真空学会 国投南光有限公司 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 半年刊 | 语种 | |
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