涡轮分子泵的压缩比和泄漏

• 作者: Casaro,F 王兰
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: 涡轮分子泵 分子真空泵 压缩比 泄漏
• 年，卷（期）: 1996,（1）
• 页码范围: 34-40
• 页数: 7页
• 分类号: TB752.27

摘要

涡轮分子泵中存在着通过分子泵各级的泄漏现象，影响了分子泵实际的压缩比。如果在计算压缩比时不考虑这个影响，那么实际测得的压缩比大多远小于计算所得。对于从高压强级到低压强级的泄漏所产生的影响，本文作了一个理论估算。提出了一个简单模型亚计算泄漏引起的压缩比的降低。