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四川真空

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主办单位：

四川省真空学会 国投南光有限公司

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出版周期：

半年刊

邮编：

610062

地址：

成都市第109信箱207分箱

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热门刊内文献

年度刊次

1. 国内外真空镀膜技术及设备的基本现状及国内真空镀膜设备发展的几点建议

作者：靳毅

刊名：四川真空

发表期刊： 2003年1期

页码: 1-8

摘要：本文着重在光学应用领域、半导体器件、大规模集成电路制造的应用领域、电容器、包装和装饰金属膜材应用领域，介绍国内外真空镀膜技术及设备的现状，及国内真空镀膜设备厂家的优势与差距和发展方向。
2. 高真空校准系统测量标准不确定度的评定

作者：宋红

刊名：四川真空

发表期刊： 2003年1期

页码: 9-12

摘要：本文叙述了高真空校准系统测量不确定度的测量方法及相对标准不确定度分量的分析。
3. 真空设备检修三要素

作者：吴根发宋红张文丽梁智岷

刊名：四川真空

发表期刊： 2003年1期

页码: 13-17

摘要：本文概述了影响真空设备极限真空度三个主要原因，讲解了真设备检修方法及措施。
4. HL-2A真空抽气、检漏系统研制及初步调试

作者：付卫东崔成和徐云仙曹曾

刊名：四川真空

发表期刊： 2003年1期

页码: 18-26

摘要：本文介绍HL-2A偏滤器托卡马克装置的真空抽气、检漏系统研制和初步调试结果．HL-2A装置真空室首次烘烤并进行了10个小时的直流辉光放电清洗后，真空室的最高真空度为1．9×10^-5Pa，1...
5. HL-2A工程调试的边缘等离子体诊断

作者：严龙文洪文玉王恩耀钱俊

刊名：四川真空

发表期刊： 2003年1期

页码: 27-31

摘要：在HL-2A装置工程调试中，边缘等离子体参数是通过磁力传动的朗缪尔四探针进行研究．朗缪尔四探针是安装在可以径向向里和向外移动长杆上，以及可以绕着快速往复移动系统和磁力传动杆的轴旋转3600．...
6. HL-2A装置偏滤器靶板上探针阵列和主真空室活动探针的设计加工和诊断

作者：严龙文洪文玉钱俊

刊名：四川真空

发表期刊： 2003年1期

页码: 32-37

摘要： HL-2A装置偏滤器靶板上的平面型朗缪尔探针阵列是用于测量同一极向截面的内外舜口上下四个个性化板上的电子温度、密度、悬浮电位、空间电位、电场舜口流速分布，研究偏滤器中等离子体参数的分布及非对...
7. 纳米电子／光电子器件概述

作者：程开富

刊名：四川真空

发表期刊： 2003年1期

页码: 38-44

摘要：主要概述纳米电子／光电子器件的分类，并提出发展纳米电子／光电子器件的几点建议。
8. 国外PtSi-SBIRFPA的技术进展及市场前景

作者：程开富

刊名：四川真空

发表期刊： 2003年1期

页码: 45-55

摘要：本文全面深入地介绍了PtSi肖特基势垒红外焦平面阵列(PtSi-SBIRFPA)的技术进展及市场前景．从制作技术、像元集成度、NETD、光响应均匀性、量子效率、成品率和成本方面把PtSi单片...
9. 《上海市、四川省真空学会真空技术西部开发研讨会》会议纪要

作者：

刊名：四川真空

发表期刊： 2003年1期

页码: 56-57

摘要：

四川真空基本信息

刊名	四川真空	主编
曾用名
主办单位	四川省真空学会国投南光有限公司	主管单位
出版周期	半年刊	语种
ISSN		CN
邮编	610062	电子邮箱
电话	028-290541	网址
地址	成都市第109信箱207分箱