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等离子体应用技术快报1998年出版文献
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等离子体应用技术快报
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主办单位：
核工业西南物理研究院
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月刊
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610041
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刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年9期页码:摘要：
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92. 射频等离子体蚀刻氮化硼刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年9期页码:摘要：
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93. 紫外荧光微波等离子体探针刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年9期页码:摘要：
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94. 金刚石薄膜制备装置刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年9期页码:摘要：
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95. 工业应用的高功率离子束源刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年9期页码:摘要：
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刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年9期页码:摘要：
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99. 真空弧离子源的发展进程刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年10期页码:摘要：
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100. 利用过滤阴极弧技术沉积TiN薄膜刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年10期页码:摘要：
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101. 用RF PECVD方法形成氮化碳薄膜刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年10期页码:摘要：
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102. 利用脉冲等离子体进行等离子体浸没离子植入刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年10期页码:摘要：
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103. 利用梯形天线产生感应性耦合RF等离子体刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年10期页码:摘要：
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104. 商用等离子体源离入植入装置刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年10期页码:摘要：
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刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年10期页码:摘要：
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106. 新型紧凑微波径向束源刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年10期页码:摘要：
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107. 高纯度臭氧束的发生及利用刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年10期页码:摘要：
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108. 氮等离子体浸没离子植入对硅的电影响刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年10期页码:摘要：
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刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年10期页码:摘要：
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110. 磁控管溅射技术的新近进展刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年11期页码:摘要：
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111. 用PⅢ氮化奥氏体不锈钢刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年11期页码:摘要：
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刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年11期页码:摘要：
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113. 用脉冲PECVD涂镀柔韧碳氟化合物丝涂层刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年11期页码:摘要：
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114. 加速器用的离子源刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年11期页码:摘要：
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115. 直列型溅射装置刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年11期页码:摘要：
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116. 气体团粒离子束表面蚀刻刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年11期页码:摘要：
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117. 碘化氢等离子体中的硅干蚀刻刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年11期页码:摘要：
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118. 氩辐照对等离子体氮化碳钢的影响刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年11期页码:摘要：
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刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年11期页码:摘要：
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120. 高强度正电子束发生和利用技术的开发刊名： 等离子体应用技术快报发表期刊： 1998年12期页码:摘要：
等离子体应用技术快报基本信息
| 刊名 | 等离子体应用技术快报 | 主编 | |
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| 主办单位 | 核工业西南物理研究院 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 | |
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| 邮编 | 610041 | 电子邮箱 | |
| 电话 | (028)29324 | 网址 | |
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