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微纳电子技术2003年第7期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 随着MEMS技术的不断发展,微加工工艺的仿真和模拟越来越受到人们的关注.简要介绍了国外干法刻蚀工艺模拟工具的发展情况,主要包括美国的SPEEDIE、日本的MORDERN和DEER.最后简要介...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 从理论上研究缓冲层的厚度和特性对多量子阱材料(GaAs/Ga1-xAlxAs)中的共振态的影响,利用界面响应理论的格林函数方法,计算了局域和总电子态密度以及电子对结的穿透率,展示了缓冲层特性...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 根据具有简立方单原子晶体结构的纳米机械和微机械中杆的晶格振动量子化的结论,推导了杆的晶格振动内能和比热的公式,并采用了神经网络技术进行了数值计算. 数值计算结果表明, 单位质量的杆的晶格振动...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 虚拟组装是基于部件库的MEMS设计系统的重要组成部分,虚拟组装研究的重点在于建立组装模型,以表达部件之间的组装关系和进行组装顺序的规划.本文结合MEMS的层次性特点,提出了增强关联图的组装模...
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6. 介观压阻效应刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 为了突破传统机电转换,如压电、压阻及压容等效应的宏观物理局限,着手研究介观压阻效应.本文提出,通过四个物理过程来实现介观压阻效应.原理上讲,在力学信号作用下,纳米结构中的应力分布会发生变化;...
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7. 微气体流量计的模拟与优化刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 温差法测流量是一种新型气体流量计的基本原理,温度传感器的布置对流量计的性能影响很大.本文使用基于分子运动理论的直接模拟Monte Carlo法对这种微气体流量计通道内的气体流动进行了数值模拟...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 采用真空键合技术,成功地将表面具有深度不同的硅槽或框架结构的硅圆片与另外两个硅圆片贴合形成三层夹心结构,经高温退火处理,得到一种粘合牢固的硅"三明治"体.这种"三明治"体的上下两个硅片仍可进...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 目前已发现并证实薄膜的热导率和热扩散率存在着尺寸效应.本文为了研究薄膜的另一个热学性质比热是否也具有尺寸效应,提出了一种用于薄膜热容测量的新方法,其相应的实验器件为一悬膜结构.从理论上阐述了...
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10. 脉冲激光MEMS加工技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 阐述了脉冲激光微加工技术及其在微机电系统(MEMS)加工中的应用.脉冲激光微加工技术能够制作出三维微型结构并具有微米/亚微米加工精度,且适用于多种材料,与传统的微细加工技术如光刻、刻蚀、体硅...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 概述了在固/液界面微/纳米加工中经常采用的三种电化学扫描探针显微镜(EC-SPM)技术,分别讨论了电化学扫描隧道显微镜(EC-STM)、电化学原子力显微镜(EC-AFM)和扫描电化学显微镜(...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 动态测试技术在MEMS研发过程中具有极为重要的作用.本文在机器微视觉的MEMS动态测试系统的基础上,基于模糊图像合成技术对MEMS 谐振器的运动特性如谐振器的运动幅度、谐振频率f及品质因数Q...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 系统采用了显微干涉技术,利用Mirau显微干涉仪配合频闪照明系统实现了对MEMS器件动态特性的测量,测量过程采用了光学干涉的非接触方法,因此不会对器件产生损坏.系统采用了改进的相移算法,抑制...
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14. MEMS中的封装技术研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： MEMS中的封装工艺与半导体工艺中的封装具有一定的相似性,因此,早期MEMS的封装大多借用半导体中现成的工艺.本文首先介绍了封装的主要形式,然后着重阐述了晶圆级封装与芯片级封装[1].最后给...
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15. 一种抗大过载微型加速度计研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 讨论了一种抗大过载(150000g)的微型加速度计,主要内容包括:阐述加速度计的工作原理; 设计一种新型十字梁的器件结构,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验,以验证这种新型的结构对于大过载冲...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 主要论述了一种新型体硅工艺MEMS隧道加速度计的系统分析与设计,对加速度计敏感头与伺服反馈电路组成的系统进行系统建模,其中包含了结构的模型和反馈控制电路的模型.以系统模型作为基础,分析了器件...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理.该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率.基于分析模型,本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则.采用SOI硅片...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 介绍了一种新型的微机械加速度计--热对流加速度计的工作原理及加工制造工艺.由于加速度计由单晶硅腔体、加热器和两只在加热器两侧并与加热器等距的温度传感器构成,其本身没有活动部件,因此这种加速度...
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19. 微型生化分析系统刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 介绍了一种基于微型光纤光谱仪的微型生化分析系统,对其进行了标定和实验测试.实验中对Fe2+-邻二氮菲溶液体系的吸收谱进行了测试,做出了相应的工作曲线.并将测试结果与国内的722型分光光度计的...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 基于实现电泳芯片的低电压分离的思想,介绍了一种电泳芯片低电压分离的模型,利用在分离通道上分段、交替、循环施加电压的方法产生高效分离电场.同时,依据该模型对这种低电压集成电泳芯片的控制系统进行...
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21. 影响低电压电泳芯片分离的主要因素刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 运用简化的低电压电泳芯片的运动梯度场的分离和控制模型,对低电压芯片的各参数与分离度、分离效率的关系进行了讨论.
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22. 电化学生物传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 介绍了电化学生物传感器的分类、基本测试原理和研究进展,该类传感器可对多种生化参数进行直接实时动态检测,基于微机电系统(MEMS)加工技术和微电子IC制造技术,电化学传感器在向着微型化、集成化...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 聚二甲基硅氧烷(PDMS)由于具有良好的力学性质和光学性质以及生物相容性等特点,是极具前景的μTAS应用材料[1].由于固化后的PDMS表面具有一定的粘附力,一对成型后的PDMS基片不加任何...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 详细介绍了采用MEMS技术研制的三维微结构LAPS阵列芯片,芯片表面划分成5×7个敏感单元,其中每个敏感区表面设置40×40个硅尖阵列,芯片背面对应地形成光耦合阵列窗口.一个5×7矩阵的红外...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 射频微机械开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景.但是目前的微机械开关都是制作在硅基衬底上的,难于与后面的高频砷化镓处理电路相集成.本文介绍了基于砷化镓衬底的RF ...
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26. 硅压阻式传感器的温度特性及其补偿刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 基于硅压阻式传感器的工艺过程与后续电路设计,讨论了减小其温度影响的措施.文中对在相同的硅基底上,采用诸如扩散、离子注入、薄膜淀积以及溅射等不同加工工艺制作实现的不同的压敏电阻特性,特别是温度...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 提出了一种用于MEMS检测试验平台中力学量测量的无耦合六维力/力矩传感器的设计.对传感器的结构形式、测量原理作了介绍,进行了试验验证并给出了从8路输出电压到六维力/力矩的传递矩阵.该传感器通...
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28. 碳纳米管电极上的电化学行为分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 用化学方法对碳纳米管进行表面处理,用红外谱对处理后的碳纳米管进行表征,处理后的碳纳米管表面出现了活性功能团羧基.用这些碳纳米管制成电极,对Cd离子在硫酸钠中的电化学行为进行了分析.结果表明,...
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29. 纳米材料与微电极生物传感器刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 主要阐述了利用微电子机械加工技术制作一种新型的微电极集成生物传感器,并利用电化学方法在微电极表面固定超微粒的纳米材料,检验纳米材料对生物传感器稳定性、灵敏度、响应时间等影响.这种具有纳米尺度...
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30. 纳米颗粒团聚的控制刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2003年7期页码:摘要： 分析了纳米颗粒团聚的影响因素及形成机理,指出颗粒之间的范德华力﹑氢键作用﹑静电作用等各种作用力是形成团聚的根本原因.分别讨论了在气体介质和液体介质两种环境中纳米颗粒团聚的控制方法,前者包括机...
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
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