微纳电子技术期刊
出版文献量(篇)
3266
总下载数(次)
22

微纳电子技术

Micronanoelectronic Technology
曾用名: 半导体情报(1964-2001)

AJSACSTPCD

影响因子 0.4364
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来,汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体,通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向,为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成... 更多
主办单位:
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉:
俄罗斯《AJ》收录  美国《剑桥科学文摘》收录  英国《SA》,INSPEC数据库收录 
ISSN:
1671-4776
CN:
13-1314/TN
出版周期:
月刊
邮编:
050002
地址:
石家庄市179信箱46分箱
出版文献量(篇)
3266
总下载数(次)
22
文章浏览
目录
  • 作者: 奚正平 张文彦 江雷
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  209-213,243
    摘要: 系统论述了近年来TiNi形状记忆合金(SMA)薄膜在MEMS技术中的应用研究.主要从该材料的特点在MEMS中的应用原理、制备技术方面进行了论述;探讨了MEMS技术中TiNi合金应用的关键技术...
  • 作者: 张瑞君 罗雁横
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  214-218
    摘要: 论述了MEMS波长可调谐激光器及其进展.介绍了几种不同类型的波长可调谐激光器,如基于表面微机械反射镜的MEMS可调谐激光器、基于深腐蚀圆形反射镜的MEMS可调谐激光器、基于闪耀光栅的MEMS...
  • 作者: 刘静 白晓丹
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  219-227
    摘要: 通过引入一种新概念型电开关,首次提出研究生物网络液体电路或具有普遍意义的导电性微流体系统中的电学关断问题,通过有选择性地对通路中的水性电溶液实施冻结,则其内在特定方向上传输电流的离子可因溶液...
  • 作者: 刘梅 吕曜 夏善红 张建刚
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  228-232,250
    摘要: 介绍了毛细作用驱动的MEMS流体微器件自组装技术的研究和发展概况,并对组装中的自对准过程进行了模拟仿真.通过仿真模拟,证明即使在器件与衬底组装区域形状大小不同时,仍可能实现自对准.这说明自组...
  • 作者: 杨海威 赵阳
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  233-236
    摘要: 利用DSMC方法对不同扩张比及喉部尺寸的轴对称拉伐尔喷管流动现象进行了模拟分析,模拟中采用与实际分子碰撞过程更为接近的内能松弛模型及CLL物面反射模型.研究结果表明不同的扩张比及喉部尺寸对喷...
  • 作者: 何广平 张向慧 王侃
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  237-243
    摘要: 针对平面5R柔顺机构的双稳态、多稳态特征综合问题进行研究,从机构弹性势能变化的角度分析机构的多稳态特征,对具有1~3个柔顺关节的情况进行了分析.证明当只有驱动关节为柔顺关节时,平面柔顺5R机...
  • 作者: 周兆英 朱荣 李丽伟
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  244-246
    摘要: 以微泵静电驱动结构为例,基于静电和弹性薄板理论,应用瑞利-黎兹能量法建立了周边固支边界条件下,静电驱动圆膜弯曲振动的谐振频率及相应振型的理论模型.位移振形的模态分析及频率计算结果均表明该计算...
  • 作者: 马剑平 高洁
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  247-250
    摘要: 碳化硅以其优异的电学、机械和化学性能成为极端条件下MEMS器件应用的首选材料.梳齿驱动器的固有频率是MEMS器件结构设计中的一个重要参数.采用有限元分析方法,对多晶SiC梳齿驱动器进行了模态...
  • 作者: 刘彩霞 孙东明 玄伟 王国东 董玮 陈维友
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  251-253
    摘要: 从扭臂式微驱动器模型出发,分析了器件在静电驱动条件下pull-in现象的产生条件,并给出公式化结果.讨论了器件的几何结构参数对于pull-in现象的影响,并对具体结构的器件给出了pull-i...
  • 作者: 毛尧辉 苑伟政 虞益挺
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  254-257
    摘要: 结合MEMS微传感器和无线通信技术,研究了MEMS微加速度计检测信号的测量与无线传输技术,制定了二维加速度信号的无线测量系统方案,设计了系统电路,并完成了原型装置的制作与调试.实践表明,本系...
  • 作者:
    刊名: 微纳电子技术
    发表期刊: 2006年5期
    页码:  258-260
    摘要:

微纳电子技术基本信息

刊名 微纳电子技术 主编 李和委
曾用名 半导体情报(1964-2001)
主办单位 中国电子科技集团公司第十三研究所  主管单位 中华人民共工业和信息化部
出版周期 月刊 语种
chi
ISSN 1671-4776 CN 13-1314/TN
邮编 050002 电子邮箱 wndz@vip.sina.com
电话 0311-87091487 网址 www.wndz.org
地址 石家庄市179信箱46分箱

微纳电子技术评价信息

期刊荣誉
1. 俄罗斯《AJ》收录
2. 美国《剑桥科学文摘》收录
3. 英国《SA》,INSPEC数据库收录

微纳电子技术统计分析

被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊