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微纳电子技术2013年第11期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 基于波动方程,采用光束传输法,研究了sinc切趾体布拉格光栅的衍射特性,并验证了该方法的有效性.分析了因温度升高引起的背景折射率的变化对sinc切趾体布拉格光栅衍射效率的影响,分析了由高功率...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 基于超导原理的超导纳米线单光子探测器(superconducting nanowire single photon detector,SNSPD)以其在高量子效率、高计数率、低暗计数和低时间...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 主要介绍了4H-SiC结势垒肖特基(JBS)功率二极管元胞的设计、仿真和制造,得到了JBS器件有源区相间的p+型岛的宽度和间距等关键参数与器件电学特性的关系,比较了JBS功率二极管与肖特基二...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年11期页码:摘要： BaTiO3薄膜的铁电性通常会受到界面效应的影响而衰减.提出了使用Ta2O5作为隔离层能够有效抑制界面效应.利用脉冲激光沉积技术,在(100)晶向的SrTiO3衬底上成功制备了BaTiO3/...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 以Sn为源,在恒温1 000℃条件下,利用碳热蒸发方式,选取不同的退火时间,在溅射Au膜的Si衬底上生长出不同形貌的SnO2纳米结构.采用扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、X射线衍射(...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 微流控混合器是微流控芯片的重要组成部分,是完成微量样品快速混合的一个功能部件.综述了国内外微流控混合器的最新研究进展,论述了微流控混合器的混合机理、设计方法、制作工艺、材料选择及应用等.微流...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 综述了最近几年国内外微型振动能量收集器的研究状况,重点介绍了被广泛应用的压电式振动能量收集器和电磁式振动能量收集器,简要阐明微型振动能量收集器实现大规模商业化产品的可能性.根据微型振动能量收...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 采用紫外纳米压印工艺,在有机发光二极管(OLED)衬底上制备三维立体微结构,可以有效提高器件的出光效率,增加器件发光亮度.而有效实施纳米压印工艺的先决条件是纳米压印模板的制备.首先在沉积有金...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 通过大量实验,研究了一种Ta高去除速率下的高选择性阻挡层抛光液,实现对碟形坑的有效修正以及表面粗糙度的有效降低.采用磷酸作为pH调节剂,改变pH值考察Ta和Cu选择性的变化规律,进而选取Ta...
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10. 硼掺杂浓度对金刚石薄膜电极的影响刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 金刚石由于其独特的物理和化学性质,使其成为电极材料的首选.通过热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,在钽片上制备了p型掺硼金刚石(BDD)薄膜电极.通过掺入硼元素在金刚石带隙间引入杂质能级,改...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 穿透硅通孔(through silicon via,TSV)技术采用铜作为互连材料,晶圆表面沉积了一层厚厚的铜膜,对铜去除速率提出了新要求.从化学机械平坦化(CMP)过程的机理出发,对影响铜...
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12. 厚层硅外延用衬底的边缘处理刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年11期页码:摘要： 在厚层硅外延生长过程中,由衬底硅片边缘引起的滑移线是典型的缺陷.研究了硅片的边缘损伤和倒角面幅宽度,研究中发现,适当增大倒角去除量,有助于消除由于单晶滚磨造成的边缘损伤,降低外延生长中滑移线...
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13. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年11期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
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