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微细加工技术2003年第3期出版文献
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
微细加工技术
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Microfabrication Technology
《微细加工技术》创刊于1983年，是国家科委和国家新闻出版署批准，国内外公开发行的中央级重要科技期刊。是国家一级检索刊物，已连续9年被美国工程信息公司Ei数据库收录，是《中国期刊网》、《中国学术期刊（光盘版）》、《中国学术期刊综合评价数据库》全文收录用刊，是《中国科学引文数据库》来源期刊。
主办单位：
中国电子科技集团公司第48研究所
期刊荣誉：
国家一级检索刊物用刊
美国工程信息公司Ei数据库收录
ISSN：
1003-8213
CN：
43-1140/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
地址：
出版文献量（篇）
672
总下载数（次）
2
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1. 电子束曝光机静电偏转系统刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 以静电极板为电子束曝光机偏转负载,用双通道扫描原理进行扫描,并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构.由SDS-3电子束曝光机试验结果表明,复合静电偏转可以达到磁偏转相似的像差...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： DY2001A型电子束曝光机是作为实用化的小型曝光系统而研制的.从设计角度详细阐述了DY2001A型电子束曝光机软件系统的构成,包括数据转换、对准校正套刻、硬件系统控制、曝光控制及数据建立和...
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3. 离子束曝光技术刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 论述了离子束曝光技术的原理、特点,分析了其面临的关键技术问题,如掩模技术、离子源技术、图像对准技术等,并介绍了这些年来国外的一些研究机构及公司在离子束曝光技术上的研究进展及取得的一些新结果.
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4. 极紫外投影光刻掩模技术刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 介绍了掩模基片的技术要求,分析了制备掩模多层膜的难点以及相应的解决措施,然后讲解了吸收层干刻法制备掩模的工艺流程,最后介绍了掩模缺陷的检测技术并概述了极紫外投影光刻掩模技术的现状.
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 在投影光刻中矢量衍射理论适用于研究照明光的偏振态对空间成像的影响.主要研究了在离轴照明方式下照明光的偏振态对线条图形的影响.发现在高数值孔径时光的偏振状态严重影响了离轴照明空间成像,结果表明...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 全息片质量是影响原子全息光刻再现图形质量的关键因素,然而其制作工艺复杂,工序繁多,质量难以控制,模拟研究有助于把握全息片制作工艺中的关键环节,提高全息片的质量.详细模拟了全息片的三个主要质量...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 铁电纳米超细粉体的合成与分散技术是成功制备0-3型铁电厚膜的关键和难点之一.采用Sol-Gel技术可制备呈球形软团聚、钙钛矿相结构完整的30 nm～70 nmMPBST超细粉体,以及致密无裂...
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8. 用碳纳米管膜测量转动速度刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 对多壁碳纳米管(MWCNTs)膜在高速转动下的压阻效应进行了研究,并讨论了利用这种效应来测量转动速度和制造这类传感器的可能性.实验所用的多壁碳纳米管是用热灯丝化学气相沉积法(CVD)合成.研...
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9. 碳纳米管及其制备技术刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 介绍了碳纳米管及其制备技术的国内外最新研究进展,分析了碳纳米管的研究现状,并对碳纳米管材料未来的发展方向进行了展望.
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10. 微三维结构电火花铣削关键技术研究刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 为解决电火花方法加工微三维结构时工具电极的制备、测量和损耗补偿问题,研究了块反拷法和线电极磨削法(WEDG)相配合的电极加工工艺,设计了通过4点接触感知实现的电极在线测量系统,提出了由数控系...
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11. ERA系统——概念和关键技术刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 提出ERA系统(Electronic Realization Automation)的概念.该系统的目标是实现微细结构,特别是VLSIC的全自动化制造.对于微细结构制造来说,以下四个问题是根...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 采用磁悬浮技术把运动部件悬浮在运行导轨之上,利用直线电机无接触驱动运动部件,从而实现机构的进给运动,该运动无摩擦和磨损,是-个无阻尼系统.选用合理的增益系数后,运用PID控制技术可对机构的进...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 采用MEMS(Microelectromechanical Systems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样.采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测...
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刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 描述了可编程相位光栅光带结构微机械特性中的频响特性与回复时光带瞬态行为研究的原理,并介绍了相应的仿真结果.光栅样机采用硅微机械技术加工而成,其测试结果表明,光栅样机的频响特性基本符合理论推导...
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15. Ni-Zn铁氧体烧结窑的研制刊名： 微细加工技术发表期刊： 2003年3期页码:摘要： 概述了Ni-Zn铁氧体烧结窑的结构,分析了升温区、恒温区和降温区的设计特点及其与产品烧结质量的关系,介绍了合理选择耐火保温材料和电热元件的原理和方法.
微细加工技术基本信息
| 刊名 | 微细加工技术 | 主编 | |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第48研究所 | 主管单位 | |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1003-8213 | CN | 43-1140/TN |
| 邮编 | 电子邮箱 | ||
| 电话 | 网址 | ||
| 地址 | 湖南省长沙市 |
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