论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
-
专利文献\
-
用于扫描探针显微镜的螺旋式扫描方法
用于扫描探针显微镜的螺旋式扫描方法
申请人：
摘要：
本发明公开了一种用于扫描探针显微镜的螺旋式扫描方法。旋转空气轴承高速旋转，从旋转编码器获得旋转的角度，气浮导轨沿着待测工件的径向运动，从线性编码器获得气浮导轨的位移，旋转空气轴承和气浮导轨从而构成扫描模块，利用DSP综合控制系统模块驱动SPM测量头获得待测工件表面的高度信息，再利用高速数据采集与处理模块将SPM测量头和扫描模块关联在同一个坐标系中，实现扫描频率和形貌测量速度匹配、极坐标和直角坐标之间的数据快速实时转换，从而实现微纳结构三维形貌的高速、大面积超精密测量。本发明可以实现对微纳结构三维形貌的快速、大面积扫描，进而快速构建微纳结构三维形貌，彻底解决传统SPM测量速度慢、测量范围小等瓶颈问题。
基本信息
| 专利类型 | 发明 | ||
| 申请(专利)号 | CN200810062982.1 | 申请日 | 2008-07-17 |
| 授权公布号 | CN101308079A | 授权公告日 | 2008-11-19 |
| 申请人 | 浙江大学 | ||
| 地址 | 浙江省杭州市浙大路38号 | ||
| 发明人 | 居冰峰 伏明明 金伟锋 | ||
| 分类号 | G01N13/10(2006.01) G12B21/20(2006.01) G01B21/00(2006.01) | 主分类号 | G01N13/10(2006.01) |
| 国省代码 | 浙江 | 页数 | 9 |
| 代理机构 | 杭州求是专利事务所有限公司 | ||
| 代理人 | 张法高 | ||
法律状态
专利分析
关键词
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
同族专利
相关专利
- 热门期刊
- 最新期刊
- 期刊推荐
中国电机工程学报
生态学报
生态学报
电力系统自动化
安徽农业科学
农业工程学报
计算机工程与应用
岩石力学与工程学报
中国医药指南
食品科学
电网技术
应用生态学报
中华护理杂志
中国组织工程研究
中华医院感染学杂志
计算机工程
中国实用医药
科学技术创新
护理研究
山西建筑
中国老年学杂志
地理学报
中国农学通报
中国妇幼保健
岩土工程学报
科技信息
中国农业科学
中国实用护理杂志
岩土力学
现代中西医结合杂志
机械工程学报
计算机应用研究
中国中药杂志
环境科学
商场现代化
软件学报
中草药
中国医药导报
护理学杂志
护士进修杂志
21世纪
居业
21世纪商业评论
癌变·畸变·突变
安防科技
鞍钢技术
安徽电力
安徽电气工程职业技术学院学报
安徽大学学报(自然科学版)
安徽地质
安徽电子信息职业技术学院学报
安徽化工
安徽工程大学学报
安徽科技学院学报
合肥师范学院学报
安徽建筑
安徽建筑大学学报
安徽科技
安徽科技与企业
安徽林业
安徽林业科技
安徽农学通报
现代农业科技
安徽农业大学学报
安徽农业科学
安徽师范大学学报(自然科学版)
安徽水利水电职业技术学院学报
安徽商贸职业技术学院学报(社会科学版)
安徽体育科技
安徽卫生职业技术学院学报
安徽文献研究集刊
安徽预防医学杂志
安徽冶金
安徽冶金科技职业学院学报
安徽医科大学学报
安徽医学
安徽医药
安徽中医药大学学报
安家
生物资源
