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一种快速表面质量测量系统
一种快速表面质量测量系统
申请人：
摘要：
本发明公开了一种快速表面质量测量系统。包含两套共光路的干涉仪，其中一套补偿噪声用参考干涉仪是专门用于检测环境中的振动、空气扰动等噪声，通过负反馈消除这些背景噪声干扰的影响。另一套测量用主干涉仪采用声光滤光器控制入射到干涉仪的光波长，利用基于GPGPU的大规模并行运算对产生的干涉信号进行处理，能够迅速地获得被测表面的三维形貌。本发明能实时测量，且测量过程中无需机械光程扫描，可以达到很快的测量速度，平均1-2秒就能更新一次，经过优化后可望更快；加上主动光路补偿技术，减少环境噪声对测量带来的影响；达到亚纳米级的测量精度；造价较为低廉，省去了通常昂贵的高精度平移台，它可用于干扰较多的加工车间里。
基本信息
| 专利类型 | 发明 | ||
| 申请(专利)号 | CN200910153879.2 | 申请日 | 2009-11-16 |
| 授权公布号 | CN101718520B | 授权公告日 | 2011-01-05 |
| 申请人 | 浙江大学 | ||
| 地址 | 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 | ||
| 发明人 | 汪凯巍 杨将新 曹衍龙 金鹭 汪琛琛 | ||
| 分类号 | G01B11/00(2006.01) G01B11/30(2006.01) G01B9/02(2006.01) | 主分类号 | G01B11/00(2006.01) |
| 国省代码 | 浙江 | 页数 | 7 |
| 代理机构 | 杭州求是专利事务所有限公司 | ||
| 代理人 | 林怀禹 | ||
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