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基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统
基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统
申请人：
摘要：
基于扫频激光干涉的圆轨迹运动误差快速测量系统，包括扫频激光器、靶镜和检测机构，总分光镜；检测机构包括X向检测机构和Y向检测机构；检测机构均包含子分光镜，反射镜，光电检测器和计数器，以及处理器；第一分光信号朝向靶镜、第二分光信号朝向反射镜；第一分光信号遇到靶镜后反射形成第一反射信号，第二分光信号遇到反射镜后反射形成第二反射信号，第一反射信号和第二反射信号在子分光镜处汇聚产生干涉信号。本发明具有测量过程中检测光路被阻断也不会影响测量结果，能测得绝对位移，仪器的标定和修正简单的优点。
基本信息
| 专利类型 | 发明 | ||
| 申请(专利)号 | CN201010552545.5 | 申请日 | 2010-11-22 |
| 授权公布号 | CN102029554B | 授权公告日 | 2013-05-08 |
| 申请人 | 浙江大学 | ||
| 地址 | 浙江省杭州市西湖区浙大路38号 | ||
| 发明人 | 曹衍龙 汪琛琛 汪凯巍 杨将新 金鹭 | ||
| 分类号 | B23Q17/00(2006.01) B23Q17/24(2006.01) | 主分类号 | B23Q17/00(2006.01) |
| 国省代码 | 浙江 | 页数 | 7 |
| 代理机构 | 杭州天正专利事务所有限公司 | ||
| 代理人 | 浙江大学 | ||
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