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一种靶材表面的加工方法
一种靶材表面的加工方法
申请人：
摘要：
本发明公开了属于靶材表面加工方法技术领域的一种靶材表面的加工方法，该方法使用机械磨抛设备进行表面加工。本发明提供了加工该种靶材的设备条件，其中使用可调整开口宽度的平行辊轴，辊轴上包裹粒度从20至2000目的水砂纸或布，先使用从粗到细的水砂纸，再使用布，同时使用去离子水进行润滑，对金属材料进行磨抛。磨抛后使用高压去离子水进行表面冲洗。在具体应用中，所述金属材料包括镍、铜、银、钛、铝、钒的一种或多种。本发明对靶材表面要求低，磨抛速率快，无需使用机加工使用的切削液、润滑液，表面无化学反应，应力层薄，整体均匀性高，整体无变形，是一种简单、可靠、经济、高效的适用于大面积、大长度与厚度比例靶材的加工方法。
基本信息
| 专利类型 | 发明 | ||
| 申请(专利)号 | CN201110037143.6 | 申请日 | 2011-02-12 |
| 授权公布号 | CN102632447B | 授权公告日 | 2015-01-14 |
| 申请人 | 有研亿金新材料股份有限公司 | ||
| 地址 | 北京市昌平区超前路33号 | ||
| 发明人 | 朱晓光 郭力山 杨永刚 何金江 丁照崇 王欣平 吕保国 江轩 | ||
| 分类号 | B24B21/04(2006.01) | 主分类号 | B24B21/04(2006.01) |
| 国省代码 | 北京 | 页数 | 7 |
| 代理机构 | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | ||
| 代理人 | 有研亿金新材料股份有限公司 | ||
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