一种塔吊装置以及一种大束流离子注入设备

摘要:
本申请公开了一种塔吊装置以及一种大束流离子注入设备,塔吊装置包括:固定机构,升降立柱,悬臂机构,和吊装机构;固定机构,内置第一气缸结构,固定机构用于和大束流离子注入设备的磁场线圈设备连接,以固定塔吊装置;升降立柱,升降立柱的第一端设置有第一回旋转轴,升降立柱的第二端内置于固定机构,并和第一气缸结构连接,升降立柱利用第一气缸结构的往复运动实现升降;悬臂机构,悬臂机构的第一端设置有第一回旋体,用于和第一回旋转轴连接,在第一回旋体和第一回旋转轴的相互作用下,悬臂机构能够环绕升降立柱进行旋转;吊装机构,和卷绕结构连接,吊装机构用于塔吊装置起吊离子筛选腔体时,连接离子筛选腔体。
基本信息
专利类型 发明
申请(专利)号 CN201410033234.6 申请日 2014-01-23
授权公布号 CN104803297B 授权公告日 2016-12-07
申请人 北大方正集团有限公司 深圳方正微电子有限公司 
地址 北京市海淀区成府路298号方正大厦5层
发明人 朱厚华 胡德明 林伟旺 张磊 
分类号 B66C23/16(2006.01) B66C23/78(2006.01) B66C23/68(2006.01) H01J37/317(2006.01)  主分类号 B66C23/16(2006.01)
国省代码 北京 页数 16
代理机构 北京同达信恒知识产权代理有限公司
代理人 北大方正集团有限公司 深圳方正微电子有限公司 
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2016.12.07 授权 授权
2015.08.26 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B66C 23/16申请日:20140123
2015.07.29 公开 公开
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