专利类型 | 发明 | ||
申请(专利)号 | CN201410085851.0 | 申请日 | 2014-03-10 |
授权公布号 | CN104916708B | 授权公告日 | 2017-03-15 |
申请人 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | ||
地址 | 江苏省南京市中山东路524号 | ||
发明人 | 唐光华 戴丽英 钟伟俊 徐汉成 申屠军 李拂晓 | ||
分类号 | H01L31/0203(2014.01) H01L31/0224(2006.01) G01J11/00(2006.01) | 主分类号 | H01L31/0203(2014.01) |
国省代码 | 江苏 | 页数 | 8 |
代理机构 | 南京理工大学专利中心 | ||
代理人 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |