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用于浸没式曝光装置的物件表面形貌检测装置
用于浸没式曝光装置的物件表面形貌检测装置
申请人：
摘要：
本发明公开了一种用于浸没式曝光装置的物件表面形貌检测装置，包括：设置在曝光装置和被曝光物体之间的液体供给装置，所述液体供给装置内部为一空腔，所述空腔四周设置有若干与液体供给管路连通的小孔，液体通过所述小孔填充至液体供给装置与被曝光物体之间，所述液体供给管路上安装有液体压力传感器。本发明通过在曝光装置和被曝光物体之间设置一个液体供给装置，在液体供给装置的空腔周围设置若干小孔，每个小孔单独供给液体。通过液体压力传感器检测每个小孔的液体压力值，判断被测量物体表面与出液小孔的相对距离。通过该相对距离反映被测量物体表面的高度，将每个小孔内获得压力转换成高度值，模拟出被测量物体表面形貌。
基本信息
| 专利类型 | 发明 | ||
| 申请(专利)号 | CN201410171815.6 | 申请日 | 2014-04-25 |
| 授权公布号 | CN105022233B | 授权公告日 | 2018-06-29 |
| 申请人 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | ||
| 地址 | 上海市浦东新区张东路1525号 | ||
| 发明人 | 卢士良 章磊 陶国峰 | ||
| 分类号 | G03F7/20 | 主分类号 | G03F7/20 |
| 国省代码 | 上海 | 页数 | |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | ||
| 代理人 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | ||
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