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一种用于脉冲激光成膜的靶材、薄膜的制造方法及设备
一种用于脉冲激光成膜的靶材、薄膜的制造方法及设备
申请人：
摘要：
本发明实施例公开了一种用于脉冲激光成膜的靶材、薄膜的制造方法及设备。该靶材包括位于所述靶材表面的第一区域和第二区域，其中，所述第一区域和所述第二区域分别具有第一组分和第二组分，所述第一组分和所述第二组分不同，在成膜期间，所述脉冲激光的光斑轰击所述第一区域和所述第二区域以获得可调整组分的薄膜。本发明实施例提供的靶材、组合薄膜的制造方法及设备，通过设计合成组合型靶材，并结合对激光光斑的控制调节，能够实现多种目的组合薄膜的生长；并能够极大地提高样品合成的效率，能够(连续)调控具体的某个生长变量，实现系列样品的平行制备；该制造设备的原理简单、复杂程度低，降低了累计误差和机械损耗的影响。
基本信息
| 专利类型 | 发明 | ||
| 申请(专利)号 | CN201910862524.4 | 申请日 | 2019-09-11 |
| 授权公布号 | CN110551982A | 授权公告日 | 2019-12-09 |
| 申请人 | 天津师范大学 | ||
| 地址 | 天津市西青区宾水西道393号 | ||
| 发明人 | 竺云 王守宇 石玉君 朱北沂 袁洁 金魁 | ||
| 分类号 | C23C14/28（2006.01） C23C14/04（2006.01） C23C14/54（2006.01） | 主分类号 | C23C14/28（2006.01） |
| 国省代码 | 页数 | ||
| 代理机构 | 北京成创同维知识产权代理有限公司 | ||
| 代理人 | 天津师范大学 | ||
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