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表面微观形貌的非接触测量
表面微观形貌的非接触测量
作者:
程上彝
董大年
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表面轮廓
非接触测量
干涉
摘要:
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文献信息
篇名
表面微观形貌的非接触测量
来源期刊
光学工程
学科
工学
关键词
表面轮廓
非接触测量
干涉
年,卷(期)
1989,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
25-30
页数
6页
分类号
TH741.3
字数
语种
中文
DOI
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研究主题发展历程
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表面轮廓
非接触测量
干涉
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研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
光学工程
主办单位:
出版周期:
季刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
邮发代号:
创刊时间:
语种:
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