表面形貌的全息式非接触光学测量方法

• 作者: 王晓飞 罗鸿逵 郭鸿禧
• 来源期刊: 北方交通大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 表面形貌 全息光学元件(HOE) 非接触光学测量
• 年，卷（期）: 1998,（4）
• 页码范围: 0
• 分类号: O434.19
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-0291.1998.04.019

摘要

讨论了关于表面形貌的一种全息式非接触光学测量新方法.此方法采用全息光学元件HOE替代普通光学元件,作为离焦检测元件,提高了测量精度和范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王晓飞	北方交通大学电子信息工程学院机械与电气工程学院	1	3	1.0	1.0
2	罗鸿逵	北方交通大学电子信息工程学院机械与电气工程学院	1	3	1.0	1.0
3	郭鸿禧	北方交通大学电子信息工程学院机械与电气工程学院	1	3	1.0	1.0