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金属蚀刻技术
蚀刻
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光致抗蚀油墨
侧腐蚀
流体微通道浸泡蚀刻技术实验
微制造
不锈钢板
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蚀刻溶液
蚀刻质量
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测量
集成化微光学标签系统的设计与制作
集成化
微光学标签
微型二维码
小透镜阵列
子宫肌瘤二种术式对卵巢功能的影响
子宫肌瘤
术式
卵巢功能
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 单片集成光学中的单步骤二种水平蚀刻技术
来源期刊 光学精密机械 学科 工学
关键词 单片集成光学 蚀刻技术 光学器件
年,卷(期) 1989,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 52-56
页数 5页 分类号 TN256
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DOI
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研究主题发展历程
节点文献
单片集成光学
蚀刻技术
光学器件
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密机械
季刊
长春市卫星路7089号
出版文献量(篇)
3901
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