反应离子束镀膜制备高TcY—Ba—Cu—O超导薄膜

• 作者: 任琮欣 陈国栋
• 来源期刊: 科技通讯（上海船厂）
• 学科: 工学
• 关键词: YBACUO 超导薄膜 反应离子束 镀膜
• 年，卷（期）: 1989,（1）
• 页码范围: 53-56
• 页数: 4页
• 分类号: TM260.5

摘要

<正> 一、引言 自1986年IBM苏黎士研究实验室Bednorz和Müller发现Ba—La—Cu—O高T_6超导氧化物后,高温超导发展迅猛。在弱电应用方面最有前景的氧化物超导薄膜尤其如此。目前,制备氧化物超导薄膜主要有两种方法:一是电子束蒸发,如IBM的Chaudhari等用三枪电子束共蒸Y、Ba、Cu,退火后获得零电阻为90K的Y—Ba—Cu—O超导薄膜,电流密度高达10~5A/cm~2(77K);国内北京大学物理系用电子束分层蒸发也获得了零电阻为84K的YBaCuO超导薄膜。另一种方法为溅射沉积。日本的Enomoto等和中国科学院物理研