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天然气管道掺氢输送研究现状与分析
掺氢天然气
管道输送
掺氢比
泄漏扩散
燃爆
牙膏级磷酸氢钙生产中湿法磷酸脱氟工艺
牙膏级磷酸氢钙
湿法磷酸
脱氟
盐酸法制饲料级磷酸氢钙的无脱氟工艺
湿法磷酸
饲料
磷酸氢钙
脱氟
低氟无铬前处理的镁合金电镀工艺
镁合金
电镀
低氟无铬前处理
绿色工艺
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 掺氟低氢PECVD SixNy工艺研究
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 PECVD法 掺氟 低氢 氮化硅 薄膜
年,卷(期) 1990,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 61-65
页数 5页 分类号 TN304.24
字数 语种
DOI
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1990(0)
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研究主题发展历程
节点文献
PECVD法
掺氟
低氢
氮化硅
薄膜
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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1
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