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文献信息
| 篇名 | 超LSI多层布线用的新型聚酰亚胺膜 | ||
| 来源期刊 | 电子工艺简讯 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | VLSI 多层布线 聚酰亚胺膜 | ||
| 年，卷（期） | dzgyjx_1990,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 22-23 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TN470.597 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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1990(0)
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多层布线
聚酰亚胺膜
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