X光多层膜反射镜及工艺状态

Brui.,MP; 李先坤

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X光多层膜反射镜及工艺状态

X光多层膜反射镜及工艺状态

作者：

Brui.,MP 李先坤

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X射线

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工艺

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文献信息

篇名	X光多层膜反射镜及工艺状态
来源期刊	光机情报	学科	工学
关键词	X射线多层膜反射镜工艺
年，卷（期）	1990,（5）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	23-30
页数	8页	分类号	TH744.5
字数		语种	中文
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