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大气压等离子体沉积棉织物类氧化硅薄膜
大气压等离子体
棉织物
薄膜
聚合物薄膜的大气压微等离子体射流无掩膜刻蚀工艺
微等离子体
聚合物薄膜
工艺参数
刻蚀工艺
等离子体单极天线辐射特性和隐身性能研究
天线
等离子体
表面波
方向图
甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜
DLC薄膜
微观结构
等离子体
电流密度
极间距
电沉积
内容分析
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文献信息
篇名 等离子体聚合的氧化乙烯薄膜的制备和性能描述
来源期刊 国外核聚变与等离子体应用 学科 物理学
关键词 等离子体聚合 氧化乙烯 薄膜
年,卷(期) 1990,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 68-70
页数 3页 分类号 O484.1
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研究主题发展历程
节点文献
等离子体聚合
氧化乙烯
薄膜
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期刊影响力
国外核聚变
双月刊
四川省成都市432信箱
出版文献量(篇)
728
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