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集成硅等离子开关
集成硅等离子开关
作者:
Nerhe.,E
张丙辰
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等离子开关
开关
集成电路
硅基片
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篇名
集成硅等离子开关
来源期刊
火工情报
学科
工学
关键词
等离子开关
开关
集成电路
硅基片
年,卷(期)
1991,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
40-46
页数
7页
分类号
TM564
字数
语种
DOI
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等离子开关
开关
集成电路
硅基片
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研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
火工情报
主办单位:
中国兵器工业第二一三研究所
出版周期:
不定期
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
西安99信箱七室
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
501
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3
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