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硅基混合表面等离子体纳米光波导及集成器件
光波导
集成器件
表面等离子体
硅纳米线
等离子体微带开关特性
等离子体
微带开关
电磁波
仿真
新型等离子体喷射触发气体开关
气体开关
等离子体喷射
工作系数
抖动
延时
激光作用下硅靶材的等离子体光谱强度分析
激光等离子体
光谱
激光烧蚀
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 集成硅等离子开关
来源期刊 火工情报 学科 工学
关键词 等离子开关 开关 集成电路 硅基片
年,卷(期) 1991,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 40-46
页数 7页 分类号 TM564
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研究主题发展历程
节点文献
等离子开关
开关
集成电路
硅基片
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不定期
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501
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