作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
数控加工技术在机械加工制造中的应用探讨
机械加工制造
数控加工技术
工业生产
机械加工技术中数控加工的应用
机械加工
数控技术
技术应用
五轴加工技术在模具零件加工中的应用
模具零件
五轴加工
注射模
数控加工技术在模具制造中的应用分析
数控加工技术
模具制造
数控机床
生产效率
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 硅微结构加工技术在敏感元件制备中的应用
来源期刊 混合微电子技术 学科 工学
关键词 敏感元件 制造 微加工
年,卷(期) 1991,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 41-45
页数 5页 分类号 TN379
字数 语种 中文
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1991(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
敏感元件
制造
微加工
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
混合微电子技术
季刊
安徽省合肥市6068信箱(合肥市绩溪路260号)
出版文献量(篇)
1458
总下载数(次)
46
总被引数(次)
0
论文1v1指导