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文献信息
| 篇名 | ECR等离子体CVD技术 | ||
| 来源期刊 | 四川真空 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 等离子体 CVD 薄膜 半导体 制备 | ||
| 年，卷（期） | sczkb_1991,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 38-45 | |
| 页数 | 8页 | 分类号 | TN304.055 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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等离子体
CVD
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相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
主办单位：
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期：
半年刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
成都市第109信箱207分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
395
总下载数（次）
1
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