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基于双光束干涉原理的微小推力测量系统实验研究
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微小卫星
双光束干涉
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微分干涉差显微镜
毛绒类纤维
直径
应用于干涉显微镜的直线压电作动器
干涉显微镜
三角放大原理
步进式压电作动器
结构优化
干涉条纹
微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌
干涉显微镜
相衬显微镜
形貌测量术
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 双光束干涉显微镜的现状
来源期刊 光仪通讯 学科 工学
关键词 双光束 干涉显微镜 显微镜
年,卷(期) gytx_1991,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 25-28
页数 4页 分类号 TH742
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1991(0)
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研究主题发展历程
节点文献
双光束
干涉显微镜
显微镜
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研究来源
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期刊影响力
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季刊
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