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超纯氢储氢合金瓶应用于亚毫微秒双极集成电路...
超纯氢储氢合金瓶应用于亚毫微秒双极集成电路...
作者:
何德湛
谢明纲
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储氢
合金瓶
双极集成电路
填槽工?
摘要:
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文献信息
篇名
超纯氢储氢合金瓶应用于亚毫微秒双极集成电路...
来源期刊
上海半导体
学科
工学
关键词
储氢
合金瓶
双极集成电路
填槽工?
年,卷(期)
1991,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
15-16
页数
2页
分类号
TN405.95
字数
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期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位:
出版周期:
季刊
ISSN:
1006-9453
CN:
31-1239/TN
开本:
出版地:
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
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