论文降重
免费查重
推荐文章
利用SiCl4/Ar/H2气体ICP干法刻蚀GaAs材料
GaAs
干法刻蚀
电感耦合等离子体
SiCl4
光滑表面
火筒式加热炉节能技术应用探讨
加热炉
涂料
防垢
节能
火筒式加热炉故障原因及预防措施
火筒式加热炉
故障原因
预防措施
综合治理
火筒式加热炉损坏机理特性分析
炉管
结垢
腐蚀
烧损
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1991(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
红外加热
外延炉
SiCl4
外延
减压
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
江南半导体通讯
主办单位：
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
江苏省无锡市105信箱微电子技术编辑部
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
141
总下载数（次）
1
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
