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两步扩散模型对超临界CO2萃取丁香油的数值模拟
超临界CO2萃取
丁香油
数值模拟
稀土对硼铝共渗扩散机制的影响
稀土
硼铝共渗
扩散机制
无压烧结碳化硼中Y2O3和Al2O3助剂的助扩散机制研究
Y2O3
助剂
协同扩散
碳化硼
无压烧结
稀土铝钛硼晶粒细化剂的研究现状
Al-Ti-B-RE
细化剂
细化机理
制备方法
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 两步硼扩散代替硼铝扩散的探讨
来源期刊 上海半导体 学科 工学
关键词 功率晶体管 扩散工艺 代硼铝
年,卷(期) 1992,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 9-10
页数 2页 分类号 TN323.405
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研究主题发展历程
节点文献
功率晶体管
扩散工艺
代硼铝
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
季刊
1006-9453
31-1239/TN
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
3
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