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两步硼扩散代替硼铝扩散的探讨
两步硼扩散代替硼铝扩散的探讨
作者:
孔德平
张学军
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
功率晶体管
扩散工艺
硼
代硼铝
摘要:
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文献信息
篇名
两步硼扩散代替硼铝扩散的探讨
来源期刊
上海半导体
学科
工学
关键词
功率晶体管
扩散工艺
硼
代硼铝
年,卷(期)
1992,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
9-10
页数
2页
分类号
TN323.405
字数
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DOI
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1992(0)
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二级引证文献(0)
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功率晶体管
扩散工艺
硼
代硼铝
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研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位:
出版周期:
季刊
ISSN:
1006-9453
CN:
31-1239/TN
开本:
出版地:
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
3
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