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文献信息
篇名 采用先氧化后扩镓工艺提高扩散质量的分析
来源期刊 永光半导体 学科 工学
关键词 功率晶体管 扩镓工艺 质量控制
年,卷(期) 1993,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 22-24
页数 3页 分类号 TN323.4
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研究主题发展历程
节点文献
功率晶体管
扩镓工艺
质量控制
研究起点
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期刊影响力
永光半导体
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贵州凯里214信箱永光电工厂情报科
出版文献量(篇)
49
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